半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）

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全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）

全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）

适用场景：用DIW/有机溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥
设备特点：
1、清洗对象：6/8/12 半自动FOUP/Cassette/POD
2、设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成
3、清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）
4、干进干出
5、人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装
6、旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易清除
7、工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误
8、鼠笼设有旋转到位防呆检测
9、动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏
10、主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测
11、可预设多条Recipe，操作简洁；
12、选配SECS/GEM接口；
13、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
14、设备外形尺寸：L 2430mm X W 1430mm X H 2460mm

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半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）